国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在无锡出机

8月15日，国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在锡成功出机。市委书记杜小刚，中国工程院院士丁文江、庄松林、董绍明，中国科学院院士张泽共同出席出机仪式。新吴区主要负责同志，相关高校、企业、投资机构代表等参加活动。

电子束晶圆量检测设备是芯片制造领域除光刻机外，技术难度最大、重要程度最高的设备之一。

此次出机的28纳米关键尺寸电子束量测量产设备，由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制，在电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等方向实现了完全自研，能有效解决我国半导体量检测领域关键核心难题，对于填补我国集成电路产业关键环节空白、提高国产芯片高端装备自主可控水平具有里程碑意义。

在当天活动现场，亘芯悦科技、上海交通大学自动化与感知学院合作共建的电子光学AI平台联合实验室同步揭牌，双方将携手在技术创新、产业应用、科技人才培养等领域开展全面合作，通过贯通“理论突破—工艺验证—产线落地”全链条，为后续设备创新研发注入新动能。

活动前，市领导和嘉宾一同调研亘芯悦电子束量检测设备生产线，详细了解企业发展历程、人才团队、技术路径、核心设备等情况。

无锡作为全国第二个集成电路产业产值过千亿元的城市，近年来创新出台集成电路高质量发展36条措施，设立总规模50亿元的江苏无锡集成电路产业专项基金，吸引国家集成电路产业投资基金在锡投资超百亿元，先后获批国家集成电路设计无锡产业化基地、国家微电子高新技术产业基地、国家集成电路特色工艺及封装测试创新中心。

去年，全市集成电路规上企业实现产值2512亿元、同比增长9.3%；入选中国独角兽企业名单新增数量全省第一、且均为集成电路领域企业。今年1—6月，全市集成电路规上企业实现产值1315亿元，同比增长14.2%。