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创客故事|从“配角”到“主角”,东南大学“产业老兵”带团队改写半导体湿法设备格局

新华日报财经讯 在全球科技竞争格局下,半导体产业地位关键,芯片制造是核心路径。芯片制造微观层面,半导体清洗如同芯片制造的“健康卫士”,决定着芯片的良率与性能。

近日,江苏福拉特自动化设备有限公司(简称“福拉特”)宣布完成数千万元Pre-A轮融资。投资方包括紫金科创、经开聚智、东方产融等众多实力雄厚的机构。在资本市场如此谨慎的大环境下,众多资本为何会青睐有加?这背后,是创始人钟立华带领团队十年磨一剑的传奇突围故事,更是国产半导体湿法设备产业崛起的一个生动缩影。

扎根行业,从“配角”到“主角”

福拉特于2011年8月在苏州昆山成立。彼时,国内半导体设备市场基本被国外企业主导,尤其是日本和韩国的企业占据了绝大部分市场份额。

2016年,深耕半导体显示领域近20年的公司创始人钟立华,这位东南大学电气工程专业出身的“产业老兵”,做出了一个让同行意外的决定——从昆山转战南京经开区。当时,南京经开区正在大力发展光电显示和半导体产业,出台了一系列优惠政策,吸引企业入驻。钟立华看中了这里的发展机遇,决定带领团队迁移。

厂房(图源:福拉特官网)

最初,福拉特的创业目标很朴实,就是为园区内的光电显示企业提供检测设备配套。“当时国内半导体设备市场几乎被日韩企业垄断,我们想从最基础的药液浓度在线检测设备切入,先站稳脚跟。”钟立华回忆道。

创业初期,福拉特团队仅有30余人,办公场地也很局促,仅能容纳基本的办公设备和人员工作。但钟立华始终关注产业链上游,积极寻找发展机会。他带领团队深入研究市场需求和技术趋势,不断优化产品。到2019年,公司年产值已翻6倍,团队规模突破百人。在这期间,福拉特不断深耕半导体显示检测设备领域,积累了丰富的技术和管理经验。

在半导体清洗领域,按介质分为湿法与干法工艺,其中湿法清洗利用液体化学溶剂或无离子水,通过化学反应清除硅片杂质,因效果好、适用性强成为主流。随着Micro LED、OLED等显示屏新技术兴起,湿法清洗设备国产化需求激增,钟立华果断调整战略,从单一检测设备转向半导体湿法制程设备研发。如今,福拉特作提供的“一站式”服务在行业脱颖而出,其单片与槽式湿法设备规格达19nm国内领先水平,药液浓度检测仪应用广泛,更是少有的软硬件一体化供应商。

打破垄断,从“替代”到“引领”

从计算机、智能手机,到人工智能,几乎所有科技领域都离不开芯片的应用。芯片制造商们致力于提升芯片性能,不断突破芯片制程的物理极限,同时在设计、封装等环节研发新工艺。

随着芯片尺寸持续缩小,微小杂质和污染物对芯片良率与性能的影响愈发显著。例如,当芯片制程进入7nm及以下时,哪怕是极其微小的颗粒杂质也可能导致芯片出现短路、漏电等问题,严重影响芯片的性能和可靠性。

MASK CLEAN设备(图源:福拉特官网)

从全球大环境来看,半导体清洗设备市场主要被日本迪恩士、东京电子、细美事和泛林半导体把持,四家公司合计市场占有率达到90%以上,国产设备面临着巨大的竞争压力。这些国外企业在技术研发、生产工艺、品牌影响力等方面具有较大优势,长期占据高端市场,国产设备很难进入其核心供应链。

2024年3月,福拉特自主研发的国内首台Micro-OLED(一种液晶面板)量产MASKCLEAN(半导体生产中掩模进行清洗的过程)设备正式交付。该设备主要用于高精密OLED蒸镀MASK清洗工艺,配合清洗化学药液、高压/常压水清洗、超声/兆声波清洗、二流体水清洗和真空/红外干燥等手段,可有效去除掩膜版表面有机物、金属、金属氧化物及其它微粒杂质,同时确保清洗后无损伤、mura(显示不均)、水痕、锈斑、脏污等产品不良。

福拉特针对半导体及显示装备前沿技术、国家卡脖子技术、国产替代技术进行攻克,技术上已取得显著成果,其中8项达到国内先进水平,3项在国内享有特殊优势,另外3项取得行业内显著开创性成果。这款设备的成功交付,标志着福拉特在半导体湿法清洗设备领域取得了重大突破,打破了国外企业在该领域的长期垄断。

资本助力,从“配套”到“链主”

目前,福拉特以“技术+生态”双轮驱动,构建覆盖研发、制造、检测、服务的一站式解决方案,业务矩阵辐射半导体、MicroLED、MicroOLED等前沿领域。公司拥有南京3000平方制造基地,有能力构建从设备研发、生产到售后服务的完整生态链。

此次Pre-A轮融资,福拉特将重点布局将四大方向:一是聚焦半导体湿法高端制程设备,研发下一代显示技术核心设备;二是扩建生产基地,提升规模化交付能力;三是深化与京东方、华星光电等头部企业的战略合作;四是与南大、东大共建创新联合体,打通“技术研发-中试-产业化”闭环。

投资方之一紫金新创的项目负责人表示:“福拉特不仅实现了技术突破,更构建了从设备研发、生产到售后服务的完整生态链,这正是我们看重的”。融资完成后,福拉特计划更名为“江苏福拉特半导体设备有限公司”,以更好聚焦并服务半导体领域的客户。

从园区配套企业到半导体设备“链主”,福拉特用十年时间完成了从“配角”到“主角”的蜕变。这场蜕变的背后,是创始人钟立华对行业趋势的精准判断,是团队对技术创新的执着坚守,更是资本与产业深度融合的生动实践。随着国产半导体设备产业进入“深水区”,福拉特的下一站,或将是全球高端半导体设备市场的中心舞台。

新华日报·财经记者 詹超

 

责编:赵文婷
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